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半导体器件失效分析.[M].邓永孝著;.宇航出版社.1991,
铜布线及其设备
被引：7
作者：
翁寿松
机构：
[1] 无锡市无线电元件四厂!无锡
来源：
关键词：
铜布线;
IC;
设备;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN405 [制造工艺];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
介绍 Ｉ Ｃ 铝布线所存在的问题，采用铜布线替代铝布线是发展趋势，并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线 Ｉ Ｃ，以及相关设备作一简介。
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