用发射探针降落法测量等离子体空间电位

被引：3

作者：

孙秋普

邓新绿

马腾才

宋远红

机构：

[1] 齐齐哈尔大学物理系

[2] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

来源：

关键词：

悬浮电位; 等离子体空间电位;

D O I：

10.16568/j.0254-6086.2004.01.015

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法———"降落法",并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电位的分布情况。

引用

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