一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究

被引：15

作者：

唐月生

伍先达

李锋

万莅新

邢武

机构：

[1] 中国科学院合肥智能机械研究所,中国科学院合肥智能机械研究所,安徽中科智能高技术有限公司,安徽中科智能高技术有限公司,安徽中科智能高技术有限公司合肥,合肥,安徽中科智能高技术有限公司合肥,合肥,合肥,合肥

来源：

关键词：

微差压原理; 高精度; 传感器; 气体泄漏检测仪;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2002.s3.021

中图分类号：

TH89 [其他仪器仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一 ,这里采用微差压原理 ,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置 ,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能。

引用

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