导波法测量吸收薄膜的复介电系数和厚度

被引：5

作者：

蒋毅

曹庄琪

沈启舜

陈英礼

机构：

[1] 上海交通大学应用物理系!上海,上海交通大学应用物理系!上海,上海交通大学应用物理系!上海,上海交通大学应用物理系!上海

来源：

关键词：

导波法; 吸收薄膜; 复介电系数; 衰减全反射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

具有吸收特性的波导薄膜 ,其衰减全反射 (ATR)峰的位置和形状包含了薄膜诸多特征参数的信息。在同时考虑棱镜的耦合和材料的吸收的基础上 ,本文用一阶微扰理论推导了微扰传播常数的解析公式 ,并且介绍了通过分析薄膜的衰减全反射峰来计算吸收薄膜的复介电系数和厚度的方法。

引用

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