非接触测量中激光扫描探头的研究

被引：1

作者：

张小红

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所长春

来源：

光学精密工程 | 1993年 / 05期

关键词：

精密测量; 非接触测量;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文基于光学三角测量原理设计了一种高精度、多功能的非接触激光扫描探头装置,对该装置的性能特点进行了系统地研究,并用所设计的探头装置对几种不同的漫射面进行了实际测量,给出了实验结果,实验表明该装置精度优于2μm。

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共 1 条

[1] 半导体探测器及其应用.[M].丁洪林编著;.原子能出版社.1989,