差动型激光自混合干涉式位移测量系统

被引:12
作者
禹延光
强锡富
魏振禄
孙晓明
机构
[1] 哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,大庆石油管理局采油工艺研究所!大庆,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨
关键词
半导体激光器; 自混合干涉; 差动; 位移测量;
D O I
暂无
中图分类号
TH741.1 [];
学科分类号
摘要
提出了一种利用激光自混合干涉效应的差动式位移测量系统, 建立了系统的数学模型,经仿真分析及实验验证表明: 和单激光管结构相比, 该系统位移分辨力提高了二倍, 达 1/4 光波波长, 且能大大减小光反馈强度引起的噪声及温度干扰。
引用
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共 1 条
[1]  
M etrology w ith an opticalm aster .2 King P G R,Stew ard G J. New Scient . 1963