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差动型激光自混合干涉式位移测量系统
被引:12
作者
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禹延光
强锡富
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哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,大庆石油管理局采油工艺研究所!大庆,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨
强锡富
魏振禄
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哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,大庆石油管理局采油工艺研究所!大庆,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨
魏振禄
孙晓明
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哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,大庆石油管理局采油工艺研究所!大庆,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨
孙晓明
机构
:
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哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨,大庆石油管理局采油工艺研究所!大庆,哈尔滨工业大学精密仪器系!哈尔滨
来源
:
光学学报
|
1999年
/ 09期
关键词
:
半导体激光器;
自混合干涉;
差动;
位移测量;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH741.1 [];
学科分类号
:
摘要
:
提出了一种利用激光自混合干涉效应的差动式位移测量系统, 建立了系统的数学模型,经仿真分析及实验验证表明: 和单激光管结构相比, 该系统位移分辨力提高了二倍, 达 1/4 光波波长, 且能大大减小光反馈强度引起的噪声及温度干扰。
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页码:1269 / 1273
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[1]
M etrology w ith an opticalm aster .2 King P G R,Stew ard G J. New Scient . 1963
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