氮化蓝宝石衬底上GaN薄膜的微结构与光学性质

被引：7

作者：

陈志忠

秦志新

沈波

朱建民

郑有炓

张国义

机构：

[1] 北京大学物理系介观物理与人工微结构国家重点实验室,北京大学物理系

[2] 介观物理与人工微结构国家重点实验室,南京大学物理系

[3] 固体微结构国家重点实验室,南京大学物理系

[4] 固体微结构国家重点实验室,北京大学物理系

[5] 介观物理与人工微结构

来源：

发光学报 | 2002年 / 02期

关键词：

氮化镓; 微结构; 光学性质;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN312.8 [];

学科分类号：

摘要：

用透射电子显微镜 (TEM) ,X射线衍射(XRD)和光荧光谱 (PL)等测量手段研究了GaN薄膜的微结构和光学性质。样品是用光辐射加热MOCVD在蓝宝石衬底上制备的。随着衬底氮化时间的增加 ,扩展缺陷的密度显著增加。在位错密度增加一个数量级时 ,XRD摇摆曲线半宽度 (FWHM)由 1 1″增加到 1 5″,PL谱的黄光发射从几乎可忽略增加到带边发射强度的 1 0 0倍。结合生长条件 ,我们对黄光与微结构的关系作了讨论

引用

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