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碳化硅轻型反射镜技术
被引：40
作者：
马文礼
沈忙作
机构：
[1] 中国科学院光电技术研究所
来源：
关键词：
轻型反射镜,碳化硅;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB32,TH744 [];
学科分类号：
摘要：
给出了常用的轻质材料，对比分析了碳化硅的材料特性。介绍了碳化硅反射镜制造中的几个关键技术，包括ＲＢ碳化硅反射镜毛坯制造，ＳｉＣ涂层技术和ＳｉＣ反射镜的加工技术。
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