椭圆型孔径几何参数测量

被引:3
作者
聂守平
机构
[1] 南京师范大学物理系!南京
关键词
坐标变换; 边界拟合;
D O I
暂无
中图分类号
TN247 [光检测技术];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
从椭圆坐标变换和边界拟合出发 ,推导了椭圆几何参数的计算方法 ,并给出了计算机模拟检测结果
引用
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