由氧化层厚度估算化学反应扩散掺杂量的研究

被引：2

作者：

魏晋云

机构：

[1] 云南师范大学太阳能研究所

来源：

太阳能学报 | 1998年 / 03期

关键词：

太阳电池，氧化层，厚度，估算，掺杂量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM914.4 [太阳能电池];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

在化学反应扩散制备ｐ／ｎ结的过程中，伴随生成的ＳｉＯ２薄膜的厚度与扩散进入硅中的掺杂量有确定的关系（ＱＳｉ＝ｃｄ），由此可由氧化层厚度简便地估算扩散掺杂量。

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共 2 条

[1]

太阳电池及其应用.[M].赵富鑫;魏彦章主编.国防工业出版社.1985,

[2]

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