MEMS传感器中随机误差较大,有时会覆盖传感器中有用信号,提出采用Allan方差(Allan variance)方法对MEMS传感器实测数据进行分析,系统地分析了引起MEMS传感器误差的随机噪声种类及其来源和特性,确定其各项系数,根据系数获得其功率谱密度,根据功率谱密度分析法与Allan方差分析法获得对应各项随机误差的数学模型,然后以数学表达式的形式得到统一的数学模型,再与卡尔曼滤波相结合得到增强的卡尔曼滤波,最后通过车载实验对MEMS-INS/GPS各个姿态进行卡尔曼滤波与改进后卡尔曼滤波2种滤波方法的比较,实验结果表明新滤波方法能很好地提高微惯性系统各个姿态精度。