多弧离子镀合金涂层／靶材成分离析现象的初步研究

本文通过对使用合金材料作为阴级靶源制备的多弧离子镀反应涂层和合金深层的成分离析现象的分析和讨论，初步揭示了离析现象的影响因素和成分变化的基本规律，建立了根据靶材成分来确定涂层成分的数学模型，为合金涂层成分设计提供了一种简捷有效的计算方法。