采用罗奇光栅离焦投影的位相测量轮廓术

被引：23

作者：

苏显渝

周文胜

机构：

[1] 四川大学光电系

来源：

光电工程 | 1993年 / 04期

关键词：

轮廓测量; 相位测量; 罗奇光栅; 三维测量; 计算机模拟;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文提出一种采用罗奇光栅离焦投影的位相测量轮廓术。给出由离焦引起的光学低通滤波和N-位相算法表征的数字滤波的解析描述。证明由于采用罗奇光栅离焦投影而引起的误差只具有很小量级,在大多数实际应用中可以忽略。文中给出了计算机模拟和实验结果。

引用

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页数：9

共 6 条

[1]

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[2]

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[6]

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