激光棒波前畸变测试仪

被引：5

作者：

何勇

陈进榜

朱日宏

高志山

机构：

[1] 南京理工大学电子工程与光电技术学院

[2] 南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京

[3] 江苏南京

来源：

中国激光 | 2003年 / 10期

关键词：

测试计量仪器; 波前畸变; 激光棒; 干涉仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍了自行开发的移相式数字波面干涉仪的原理和特点 ,仪器主要用于激光棒材料波前畸变测试 ,仪器口径为 30mm ,精度优于λ/ 2 0 ,重复性优于λ/ 5 0。仪器硬件具有四个特点 :变倍、调焦、光通量控制、调整和测试转换 ;软件包建立在WINDOWS98平台上 ,进行干涉图采集、处理、波面图形绘制。输出结果形象直观 ,整个操作简单方便快捷 ,测试过程 2 6s。仪器还可测量晶体材料折射率均匀性、晶体元件面形、角度、平行度等。通过测试比对 ,数据与ZYGO结果一致

引用

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