基于线阵CCD的全息光栅位移传感器

被引：5

作者：

赵育良

张青臣

李开端

机构：

[1] 海军航空工程学院青岛分院航空特设系

来源：

测试技术学报 | 2002年 / 03期

关键词：

线阵CCD; 全息光栅; 位移传感器; 精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

目的　提出了一种新型的基于全息光栅的 CCD位移传感器 .方法　利用 CCD分辨率高 ,像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现位移的自动精确测量 .结果　系统能够对位移实现自动精确测量 .结论　该系统具有一定的实用价值及应用前景

引用

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