一种新型MEMS加速度传感器的研制

被引：6

作者：

杨要恩 ^{[1
]}

孙幸成 ^{[2
]}

王庆敏 ^{[2
,3
]}

机构：

[1] 石家庄铁路职业技术学院机电系

[2] 石家庄铁道大学

[3] 北京交通大学机械与电子控制工程学院

来源：

电子器件 | 2013年 / 36卷 / 02期

基金：

国家高技术研究发展计划(863计划);

关键词：

MEMS传感器; 加速度; 动态特性; 电路设计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

针对传统机械类传感器体积比较大、耗电量高、长期监测稳定性差的不足,研发出一种新颖的基于MEMS(微机械加工)技术的无线传感器。分析了加速度传感器的检测原理,设计了信号检测模块、微控制器模块及无线收发模块等硬件集成电路,并进行了软件实现。设计实验系统对所研发的加速度传感器动态特性进行了研究,实验结果表明:该传感器在不同的加速度输入输出反复实验中,具有良好的线性响应,线性拟合度在0.999%F.S以上,重复稳定性好,动态响应快,适用于结构的低频振动测试。

引用

页码：235 / 238

页数：4

共 6 条

[1] 基于无线传感器网络的山体滑坡预警系统设计 [J].

梁山 ;

胡颖 ;

王可之 ;

鲜晓东 .

传感技术学报, 2010, 23 (08) :1184-1188

[2] MEMS微电容式传感器的传感特性研究 [J].

王庆敏 ;

杨要恩 ;

苏木标 ;

刘玉红 .

传感技术学报, 2009, 22 (10) :1396-1400

[3] 基于MEMS的微电容式无线加速度传感器的研究 [J].

王少华 ;

李宏伟 ;

欧进萍 .

传感器与微系统, 2007, (06) :94-96

[4] 基于MEMS技术的无线加速度测量系统 [J].

毛尧辉 ;

苑伟政 ;

虞益挺 .

微纳电子技术, 2006, (05) :254-257

[5] F-P光纤传感器的温度与应变传感特性研究 [J].

杨要恩 ;

王庆敏 ;

孙宝臣 ;

杜彦良 .

传感器技术, 2005, (04) :24-25+28

[6]

Research on Application of Micro-Nano Acceleration Sensor in Monitoring the Vibration State of Vehicles[J] . Wang Qingmin,Yang Yaoen,Su Mubiao,Liu Yuhong.Procedia Engineering . 2012

← 1 →