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激光清洗阈值和损伤阈值的研究
被引:11
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
谭东晖
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
陆冬生
机构
:
[1]
华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉
[2]
不详
来源
:
激光与光电子学进展
|
1997年
/ 07期
关键词
:
激光清洗;
清洗阈值;
损伤阈值;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN24 [激光技术、微波激射技术];
学科分类号
:
摘要
:
讨论了采用波长为308nm,脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究,分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因,并对它们进行了定量性推导。
引用
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页数:4
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Thermophyslcal properties of matter. Touloukina. . 1977
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