激光清洗阈值和损伤阈值的研究

被引:11
作者
谭东晖
陆冬生
机构
[1] 华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉
[2] 不详
关键词
激光清洗; 清洗阈值; 损伤阈值;
D O I
暂无
中图分类号
TN24 [激光技术、微波激射技术];
学科分类号
摘要
讨论了采用波长为308nm,脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究,分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因,并对它们进行了定量性推导。
引用
收藏
页码:17 / 20
页数:4
相关论文
共 1 条
[1]  
Thermophyslcal properties of matter. Touloukina. . 1977