激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术

被引:5
作者
王晓辉
曹根瑞
梅文辉
机构
[1] 北京理工大学光电工程系光电技术基础教研室
关键词
激光干涉仪,数字干涉仪,波面干涉仪,快速傅里叶变换,CCD摄象机,计算机图象处理;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.3 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波面的检测精度达到λ/100以上,并且实现了波面的实时显示。
引用
收藏
页码:53 / 56
页数:4
相关论文
empty
未找到相关数据