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激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术
被引:5
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王晓辉
论文数:
引用数:
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机构:
曹根瑞
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
梅文辉
机构
:
[1]
北京理工大学光电工程系光电技术基础教研室
来源
:
光电工程
|
1997年
/ 04期
关键词
:
激光干涉仪,数字干涉仪,波面干涉仪,快速傅里叶变换,CCD摄象机,计算机图象处理;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH744.3 [];
学科分类号
:
0803 ;
摘要
:
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波面的检测精度达到λ/100以上,并且实现了波面的实时显示。
引用
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页码:53 / 56
页数:4
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