低温等离子体化学

被引：5

作者：

李学丹

机构：

[1] 浙江大学信息与电子工程学系杭州

来源：

关键词：

等离子体化学; 分子; 动能; 正离子; 等离体化学; 阳离子; 基体温度; 化学反应; 表面相; 固体表面; 原子团; 中性粒子; 活性粒子; 电子温度; 薄膜材料; SIH; 表面沉积;

D O I：

10.14159/j.cnki.0441-3776.1991.05.004

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

<正> 等离子体是部分电离了的气(汽)体,也可以说是正、负带电粒子密度相等的导电气体。它实际上是电子(有时存在负离子)、正离子、原子(或分子)、原子团(活性基)、激发的原子(分子)以及光子等粒子的混合体。所谓低温是指

引用

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