微石英音叉电学参数的有限元分析

被引：5

作者：

廖兴才

孙雨南

唐琼

崔芳

机构：

[1] 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系

[2] 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系北京

[3] 北京

来源：

北京理工大学学报 | 2003年 / 04期

关键词：

石英陀螺; 静态集总电容; 动态等效电路; 有限元法;

D O I：

10.15918/j.tbit1001-0645.2003.04.017

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

以U形石英音叉为例,用耦合电压自由度的方式模拟电极,提出了石英音叉的静态集总电容模型,用有限元分析中的静态分析方法计算了静态电容参数.通过对电极作短路和开路处理,分别用模态分析和谐波响应分析方法计算了石英音叉的本征频率,两种分析计算结果相同.根据本征频率计算了石英音叉的动态等效电路参数,计算值在实测值的离散范围内.最后综合运用模态分析、谐波响应分析方法计算了石英音叉传感器的电压和电荷灵敏度,可为设计传感器放大电路提供必要的参考.

引用

页码：469 / 472

页数：4

共 5 条

[1]

Amplification circuit for electric charge type sensor. Yamashita. United States Patent .

[2]

Finite element method analysis of single crystal tuning Fork Gyroscope for suppression of its leakage coupling. Noboru Wakatsuki,Hiroshi Tanaka. Japanese Journal of Applied Physics . 1997

[3]

Finite element analysis of trident -type tuning fork resonator for vibratory gyroscope. Satoh A,Ohnishi K,Sakurai K. Japanese Journal of Applied Physics . 1995

[4]

Consideration of figure of merit of piezoelectric vibratory gyroscope using charge sensitivity. Subaru Kudo. The Japan Society of Applied Physics . 2001

[5]

Finite analysis of mechanical couplings in a tuning fork gyroscope. Subaru Kudo. Japanese Journal of Applied Physics . 1997

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