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无定型硅基钝化膜在硅器件中的应用
被引：1
作者：
杜家方
何宇亮
叶峰
熊承堃
张晓明
李寿林
朱菊珍
机构：
[1] 南京大学
[2] 南京固体器件研究所
[3] 上无厂
来源：
关键词：
钝化膜;
硅器件;
光学薄膜;
无定型;
钝化作用;
硅基;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文报道了无定型硅基钝化膜在功率晶体管中的应用情况。实验结果表明:采用此钝化膜有助于改善平面p-n结的电气性能和表面抗污染能力,提高了器件的可靠性和稳定性。对此钝化机理本文也作了相应的讨论。
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