超光滑表面加工技术

被引：19

作者：

李锡善

戈鹤忠

机构：

[1] 中国科学院上海光机所光盘实验室!上海

[2] 不详

来源：

激光与光电子学进展 | 1998年 / 11期

关键词：

超光滑表面加工技术; 浮法抛光; 抛光液; 磨料颗粒; 磨具; 锡盘; 工件表面; 面形精度; 离子束流; 表面粗糙度; 表面性质; 加工机理; 射线光学; 去除率; 强激光系统; 光学工艺; 基板; 超光滑抛光; 抛光设备; 浴法抛光;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN209 [应用];

学科分类号：

摘要：

阐述了超光滑表面的物理概念及在现代科学技术中的重要意义，同时系统介绍了超光滑表面加工技术国内外现状及各种加工术的原理和方法．这对于我们了解在该技术领域国际发展动向及促进国内光学工艺技术的提高和发展有积极作用。当前，我国在强激光、光电子、X射线激光和空间光学等高科技领域对超光滑表面的获得提出了迫切要求．而我们光学工艺现状还不能满足科学技术发展的需要，因而适时地进行这方面的研究工作是非常紧迫的任务。

引用

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