出射二次电子表面分布的多重分形谱

被引：1

作者：

李华，丁泽军，吴自勤

机构：

[1] 中国科学技术大学基础物理中心

来源：

关键词：

二次电子，多重分形;

D O I：

暂无

中图分类号：

O462.2 [二次电子发射、二次电子发射阴极];

学科分类号：

摘要：

本文用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了１－１０ｋｅＶ的入射电子与固体Ｓｉ的相互作用，在模拟中还对体内的二次电子进行跟踪。对出射二次电子在样品表面的分布进行了多重分形研究。随入射电子能量增大，多重分形谱高度下降，多重分形谱主要向低奇异指数方向扩展。

引用

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