新一代微分析及微加工手段——聚焦离子束系统

被引：6

作者：

江素华

谢进

王家楫

机构：

[1] 复旦大学国家微分析中心!上海

来源：

电子工业专用设备 | 2000年 / 04期

关键词：

微分析; 微加工; 聚焦离子束;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN1 [真空电子技术];

学科分类号：

080901 ;

摘要：

聚焦离子束 (FIB)技术是 90年代发展起来的具有微细加工和微分析组合功能的新技术。随着集成电路线宽的不断减小 ,集成度不断提高 ,该技术已在微电子工业中被广泛应用 ,其优势也日益显现。文中主要对FIB系统的构成作较为详尽的介绍 ,同时也涉及该技术的应用和发展。

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共 2 条

[1]

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[2]

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