未找到相关数据
微机械部件运动的光学测量
被引：4
作者：
瞿荣辉
丁浩
赵浩
方祖捷
陈高庭
机构：
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
来源：
基金：
国家攀登计划;
关键词：
微机械器件，光学测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH113.21, [];
学科分类号：
摘要：
针对微电子机械系统中微小部件运动状态的测量要求，提出了一种基于光纤Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的测量方法，分析了微机械部件不同运动状态对光信号的影响，给出了初步的实验结果。
引用
收藏
页码：70 / 73
页数：4
相关论文