一种新结构硅微机械压阻加速度计

被引:12
作者
陈雪萌
李昕欣
宋朝晖
王跃林
黄晖
黄树森
张鲲
机构
[1] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
[2] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海
[3] 上海
关键词
微机械; 加速度计; 压阻; 深反应离子刻蚀;
D O I
暂无
中图分类号
TH824.4 [];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
引用
收藏
页码:500 / 503
页数:4
相关论文
共 4 条
[1]  
A Wide Frequency Range, Rugged Silicon Micro Accelerometer with Over range Stops. J. Suminto. IN: 9 th IEEE Int.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems . San Diego,CA, Feb. 1 1-1 5 . 1 9 9 6
[2]  
An integrated force balanced capacitive accelerometer for low-g applications. Chau K,Lewis SR,Zhao Y,Howe RT,Bart SF,and Marcheselli RG. Sensors and Actuators . 1 9 9 6
[3]  
Characterization and modelling of silicon piezoresistive accelerometers fabricated by a bipolar-compatible process. Tschan T,de Rooi j N,Bezinge A,Ansermet S,Berthoud J. Sensors and Actuators . 1 9 9 1
[4]  
Micromachined Inertial Sensors. Yazdi N,Ayazi F,and Najafi K. Proceedings of the IEEE . 1 9 9 8