论硅的各向异性腐蚀

被引：6

作者：

吴宪平

鲍敏杭

机构：

[1] 复旦大学电子工程系

来源：

关键词：

各向异性腐蚀; 硅片; 晶向; 削角; 凸角; 晶体学方向; 掩模图;

D O I：

10.13873/j.1000-97871987.01.005

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文论述了用于固态传感制备的〈100〉和〈110〉晶向硅片各向异性腐蚀的特点和机理;对掩模图形边缘取向和(100)硅矩形台而凸角处的削角现象进行了探讨;对各种各向异性腐蚀剂的配方与性能进行了对比;并列腐蚀残留物成分与形成条件进行了分析与研究。

引用

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