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φ300mm/0.18μm对栅极氧化层的要求及设备
被引：4
作者：
翁寿松
机构：
[1] 无锡市无线电元件四厂
来源：
关键词：
栅极氧化层,纵型扩散炉,快速热处理;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.7 [光刻、掩膜];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
介绍了３００ｍｍ／０．１８μｍ对栅极氧化层的要求、生长极薄栅极氧化层的方法及其形成栅极氧化层的设备。
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