未找到相关数据
激光多普勒振动计
被引：4
作者：
小林卓之
载丰
机构：
来源：
关键词：
速度信号;
激光多普勒振动计;
积分器;
光学单元;
位移信号;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 1.前言现在,振动测量采用加速度传感器的接触方式已为众所周知。而另一方面,在电子设备、汽车、半导体生产装置及精密机床等领域,被测对象多为小型、轻量,并且以旋转体居多,对非接触方式振动传感器的需求正在不断增加。已经开发出来的非接触方式的传感器有静
引用
收藏
页码：28 / 30+4
+4
页数：4
相关论文