微机械音叉陀螺的误差源研究

被引：1

作者：

李万玉

阮爱武

罗晋生

冯培德

机构：

[1] 航空工业总公司第研究所七室!西安

[2] 西北工业大学自动控制系!西安

[3] 西安交通大学电子与信息学院!西安

来源：

关键词：

微机械音叉陀螺; Brownian噪声; 电路噪声; 机械耦合误差; 电子机械耦合误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

定性地讨论了微机械音叉陀螺特有的一些误差源，主要有机械结构的Ｂｒｏｗｎｉａｎ噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等．对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。

引用

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