用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力

被引：14

作者：

郇勇

张泰华

杨业敏

曾昭君

机构：

[1] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室

[2] 北京大学微电子学研究所北京

[3] 北京

来源：

关键词：

微加速度计; Hopkinson杆; 抗过载能力;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.2 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片。为了研究芯片的抗过载能力 ,使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷 ,以一维应力波理论估计芯片受到的加速度。结果显示 ,芯片破坏的临界载荷为 2 0 0kgn。裂纹和断裂主要发生在十字架中心、边框的 4个角以及十字梁和边框的连接部位。

引用

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