超硬膜的研究进展

被引:5
作者
肖兴成
江伟辉
宋力昕
胡行方
机构
[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所!上海200050
基金
国家攀登计划;
关键词
超硬膜; 硬度; 力学性能增强效应;
D O I
暂无
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展,包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以及它们力学性能增强效应的理论解释.对超硬膜以后的发展趋势提出了自己的一些见解.
引用
收藏
页码:705 / 710
页数:6
相关论文
共 18 条
[1]  
Li D,Lin X W,cheng S H. Applied Physics Letters . 1996
[2]  
Chu X,Barnett S A. J. Applied Physics . 1995
[3]  
TECHNOLOGY[P]. 英国专利:GB8602522D0,1986-04-16
[4]  
TECHNOLOGY[P]. 英国专利:GB8602522D0,1986-04-16
[5]  
Veprek S,Reiprich S. Thin Solid films . 1995
[6]  
Sung C M,Sung M. Mat. Chem. Phys . 1996
[7]  
Liu A Y,Cohen M L. Physical Review B Condensed Matter and Materials Physics . 1990
[8]  
Teter D M. Materials Research Society Bulletin . 1998
[9]  
Sjostrom H,Hultman L,Sundgren J E,et al. Journal of Vacuum Science and Technology . 1996
[10]  
Ulrich S,Theel T,Schwan J,et al. Surface and Coatings Technology . 1997