双频激光远程直线度/同轴度测量系统

被引：27

作者：

陈强华

吴健

殷纯永

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室

[3] 北京

[4] 精密测量技术与仪器国家重点实验室

来源：

中国激光 | 2002年 / 07期

关键词：

直线度/同轴度测量; 横向塞曼; 双频; 自适应; 长距离测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍了一种基于横向塞曼双频激光的直线度同轴度测量系统 ,与纵向塞曼系统相比 ,舍去了 1 4波片 ,减小了仪器尺寸 ,从原理上消除了由于 1 4波片相位延迟不是严格 90°造成的非线性误差 ;符合共路原则 ,对空气扰动有较强的抑制力 ;具有自适应性 ;信号处理采用比相技术 ,测量精度可以达到 0 .1° ;测量元件可以暂时移出光路 ,挡光后数据能够自动恢复 ;80 98单片机系统智能化稳定的频差在 10h内变化量小于 0 5kHz ;系统稳定性为 2 μm h ;示值线性相关系数优于 0 9999;适于远程准直和同轴度测量

引用

页码：625 / 630

页数：6

共 8 条

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