数字气压传感器的一种高效标定和补偿方法

被引：11

作者：

李亮 ^{[1
,2
]}

杜利东 ^{[1
]}

赵湛 ^{[1
]}

卫克晶 ^{[3
]}

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感器技术联合国家重点实验室

[2] 中国科学院大学

[3] 解放军理工大学气象海洋学院探测与装备工程教研中心

来源：

传感器与微系统 | 2014年 / 11期

关键词：

硅压阻式压力传感器; 标定测试; 温度补偿; 最小二乘法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

硅压阻式压力传感器受制造工艺和测量环境的影响,其输出大都具有一定的非线性,其中以温度的影响最为明显。鉴于此,传感器需要准确地标定测试和温度补偿,首先制作一种带有高精度AD和微处理器的数字气压传感器,用它采集数据;然后分析测试设备,确定采用恒压变温的标定方案,它不仅效率高,而且能准确反映传感器的温度和输出特性;最后用最小二乘算法在微处理器上实现温度补偿,补偿后传感器的输出精度满足了应用需求。

引用

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页数：4

共 6 条

[1] 压力传感器温度补偿各种算法的比较分析 [J].