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垂直腔面发射激光器DBR结构反射特性分析
被引:3
作者:
张存善
张延生
段晓峰
赵红东
刘文楷
机构:
[1] 河北工业大学电气信息学院微电子研究所
[2] 中国科学院半导体研究所
来源:
关键词:
垂直腔面发射激光器(VCSEL);
分布布喇格反射(DBR)结构;
F-P腔;
D O I:
10.16136/j.joel.2002.01.010
中图分类号:
TN248.4 [半导体激光器];
学科分类号:
摘要:
采用等效法布里 -珀罗 (F- P)腔方法对垂直腔面发射激光器 (VCSEL)的上、下两层分布布喇格反射 (DBR)结构的特性进行了研究 ,计算并讨论了上、下两层 DBR结构在不同对称模型、不同周期数时对微腔结构的反射率的影响。得出反射面 DBR结构的周期数为 30左右 ,出光面 DBR结构的周期数 2 0左右 ,易实现激光输出 ,与实际设计基本一致
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