室温短波碲镉汞结区的LBIC方法研究

被引:10
作者
贾嘉
陈贵宾
龚海梅
李向阳
机构
[1] 中国科学院上海技术物理研究所
关键词
短波红外碲镉汞光伏器件; nonp结; LBIC方法; 侧向收集;
D O I
暂无
中图分类号
TN215 [红外探测、红外探测器];
学科分类号
摘要
室温短波碲镉汞焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏面面积扩大的问题越来越突出.我们利用激光诱导电流 (LBIC)检测系统测试了室温短波碲镉汞n on p芯片的光响应分布,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向扩散收集效应是造成目前常规工艺形成的光伏器件光敏面面积扩大的主要因素.
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共 1 条
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JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2001, 30 (06) :696-703