半导体激光器线性调频光纤位移测量仪的研究

被引：8

作者：

田芊

李达成

章恩耀

机构：

[1] 清华大学精密仪器系

[2] 清华大学精密仪器系北京

[3] 北京

[4] 北京

来源：

中国激光 | 1992年 / 09期

关键词：

半导体激光器; 光纤; 位移;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

半导体激光器线性调频光纤位移测量仪是将半导体激光器线性调频技术与光纤传感技术相结合制成的一种新型外差干涉仪,它结构简单,实用性强,位移测量范围为1mm;精度优于0.05μm。

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页码：668 / 670

页数：3

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共 1 条

[1] 半导体激光器线性调频新型外差干涉仪的研究 [J].

徐左 ;

谢巍 ;

田芊 ;

李达成 .

计量学报, 1989, (01) :18-23