轰击阴极的重粒子能量分布

被引：1

作者：

张连珠

于威

傅广生

机构：

[1] 河北师范大学物理系!石家庄

[2] 河北大学物理系!保定

来源：

核聚变与等离子体物理 | 2001年 / 02期

关键词：

辉光放电; 蒙特卡罗方法; 重粒子; 能量分布;

D O I：

10.16568/j.0254-6086.2001.02.005

中图分类号：

O461.2 [各类型放电];

学科分类号：

0809 ; 080901 ;

摘要：

采用蒙特卡罗模拟对氮辉光放电等离子体中轰击阴极的重粒子 (N+ 2 ,N+ ,Nf 及N2f)能量分布随放电参数的变化规律进行了研究。结果表明 :阴极壁前诸粒子的能量分布取决于粒子被加速的能量和碰撞频率 ,能量较低的快原子Nf 的密度比高能粒子N+ 的密度高近两个量级。在活性氮粒子 (N+ ,Nf)产率最高的放电条件下 ,适当降低放电气压 ,提高阴极位降和气体温度 ,有利于两种活性氮粒子 (N+ ,Nf)达到阴极。

引用

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