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高频溅射法制备Bi-Sr-Ca-Cu-O超导薄膜
被引：2
作者：
刘卫
王继红
杨治平
何友昭
赵化桥
陈祖耀
钱逸泰
张民健
张涛
张其瑞
机构：
[1] 中国科技大学应用化学系
[2] 中国科技大学物理系
[3] 中国科技大学物理系 合肥
[4] 合肥
来源：
关键词：
薄膜电阻;
衬底;
YAG;
高频溅射;
物相;
基片;
溅射率;
Bi-Sr-Ca-Cu-O;
超导相;
Cu;
形貌;
射线衍射;
电学性质;
超导性能;
Sr;
Ca;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
以单晶 YSZ、YAG 为衬底,用高频溅射法制备了 Bi-Sr-Ca-Cu-O 超导薄膜,膜厚为0.5—1μm,其中两个样品的超导性能为 Tc（onset）=92K,Tc（mid）=78K,Tce=42K 和Tc（onset）=95K,Tc（mid）=78K,Tce=36.5K,经分析,后者的组成近似地为Bi2Sr2Ca1Cu2Ox.对靶组分、溅射和热处理条件与生成的膜成分、物相、形貌以及超导电性的关系做了讨论.
引用
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页码：464 / 469
页数：6
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