“Isara400”超精密坐标测量机的设计与标定(英文)

被引：6

作者：

Henny Spaan

Ivo Widdershoven

Rilpho Donker

机构：

[1] IBSPrecisionEngineering,Esp,AD,Eindhoven,TheNetherlands

来源：

光学精密工程 | 2011年 / 09期

关键词：

纳米技术; 坐标测量机; 接触探针; 标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH721 [坐标器和自动坐标器];

学科分类号：

摘要：

介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定。同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果。

引用

页码：2236 / 2241

页数：6

共 4 条

[1]

Isara 400:enabling ultra-precision coordinatemetrology of large parts. DONKER R L,,WIDDERSHOVEN I,SPAAN H AM. Proceedings of the10th International Euspen Conference . 2010

[2]

Ultra Precision Coordinate Meas-uring Machine–Design,Calibration and ErrorCompensation. RUIJL T A M. . 2001

[3]

Fullarea calibration of large optical flats. EVANS C J,SMITH C,SOOBITSKY J,et al. Proceed-ings of the ASPE spring topical conference . 2009

[4]

Isara 400:development of an ultra-precision CMM for3Dmeasurement of large parts. HENNY A M,RILPHO L,IVO WIDDERSHOVEN. Proceedings of theASPE Spring Topical Conference . 2009

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