减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法

被引：2

作者：

李中梁 ^{[1
,2
]}

王向朝 ^{[1
]}

刘英明 ^{[1
]}

唐锋 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

中国激光 | 2009年 / 36卷 / 08期

关键词：

测量; 多光束干涉; 参数优化; 误差补偿; 正弦相位调制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时,由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉,干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布。按照双光束干涉的算法进行相位信息提取,会引入一定的误差。以正弦相位调制菲佐干涉仪纳米精度微小位移测量为应用背景,分析多光束干涉情况下该干涉仪信号解调算法的误差,进而对干涉仪的相关参数进行优化,并通过误差补偿对测量结果进行修正,有效减小了多光束干涉产生的影响。

引用

页码：2115 / 2120

页数：6

共 4 条

[1] 消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪 [J].