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提高半导体器件成品率的有效对策
被引：7
作者：
谢永桂
机构：
[1] 航天总公司西安微电子技术研究所
来源：
关键词：
半导体器件,成品率,优化设计;
D O I：
10.13290/j.cnki.bdtjs.1999.02.014
中图分类号：
TN302 [设计与计算];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
从技术、管理等方面入手，讨论了影响器件成品率的诸因素及提高成品率的对策。介绍了一种有效、相容的吸杂工艺；从工艺优化设计角度讨论了提高成品率的各种途径。
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