MEMS微电源技术

被引：11

作者：

刘晓为

邓琴

郭猛

兰慕杰

王喜莲

机构：

[1] 哈尔滨工业大学MEMS中心

[2] 中国电子科技集团公司第四十九研究所

[3] 哈尔滨工业大学中心

[4] 哈尔滨工业大学中心黑龙江哈尔滨

[5] 黑龙江哈尔滨

来源：

关键词：

微电源; 微燃料电池; 体硅加工;

D O I：

10.13873/j.1000-97872003.07.028

中图分类号：

TM911 [化学电源、电池、燃料电池];

学科分类号：

0808 ;

摘要：

结合目前国内外各种微电源的发展现状,总结微电源的研究成果,从理论上探讨了利用MEMS体硅加工工艺制作微燃料电池的可行性。指出了MEMS燃料电池的发展趋势,并对MEMS燃料电池研制过程中可能出现的困难提出了相应的解决方案。

引用

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