离轴凸非球面的Hindle检测

被引：8

作者：

王鹏

赵文才

胡明勇

张海洪

郝沛明

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中国科学院

来源：

光学精密工程 | 2002年 / 02期

关键词：

非球面检验; 离轴; Hindle球检验;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG83 [形位偏差测量及其量仪];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

采用Hindle球方法检测凸非球面是人们常用的经典方法之一 ,此方法的优点是检验精度高、操作简单。为了解决经典Hindle球检验离轴凸非球面所需的Hindle球口径过大的问题 ,提出采用离轴Hin dle球检验离轴凸非球面的方法。此方法中 ,Hindle球使用在离轴状态 ,通过旋转离轴凸非球面达到检验整个待检面的目的。此方法可以大大减小Hindle球的尺寸 ,从而间接增大了待检离轴凸非球面的尺寸。本文同时对此方法的测量精度进行了理论分析

引用

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