共 1 条
离子注入过程中表面的碳沉积
被引：3
作者：
阎鹏勋
陈发贵
机构：
[1] 兰州大学
[2] 兰州大学 兰州
[3] 兰州
来源：
关键词：
离子注入;
离子注入改性;
碳沉积;
注入剂量;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
通过对离子注入过程中表面碳膜结构及其对离子注入层各种性能(颜色、显微硬度和耐蚀性)影响的研究,得知了形成离子注入层表面碳膜及其影响离子注入层性能的机理。
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