用激光驱动气相反应制备Si3N4超细粉

被引：4

作者：

栾松岩

梁唯红

朱紫冬

秦汝虎

姜春生

段晓丹

机构：

[1] 黑龙江省科学院技术物理所

[2] 哈尔滨工业大学应用物理系

来源：

无机材料学报 | 1990年 / 03期

关键词：

激光驱动; Si3N4; 超细粉;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

本文叙述了用CW-CO2激光作热源,驱动硅烷和氨反应,制备Si3N4超细粉。讨论了制备超细粉所用的实验装置和工艺条件。

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页码：245 / 250

页数：6

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共 1 条

[1]

高纯气体的制备、输送和检测[M]. 江苏科学技术出版社 , 单长赴编著, 1985