掺Al对ZnO薄膜发光性能的调控作用

被引：8

作者：

徐自强

邓宏

谢娟

李燕

机构：

[1] 电子科技大学微电子与固体电子学院

来源：

光电子·激光 | 2006年 / 03期

关键词：

溶胶-凝胶法; Al掺杂; ZnO薄膜; 光致发光(PL); 蓝移;

D O I：

10.16136/j.joel.2006.03.001

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

采用溶胶-凝胶法,在玻璃上制备了不同掺Al浓度的ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角移动,峰强逐渐减弱。探讨了掺Al对ZnO薄膜发光性能的调控作用,薄膜的透射谱表明:通过改变掺Al浓度,可以提高ZnO薄膜的紫外光透过率,使其吸收边向短波长方向的移动被控制在一定的范围内,从而使薄膜禁带宽度连续可调;薄膜的光致发光(PL)谱显示:纯ZnO薄膜的PL谱是由紫外激子发光和深能级缺陷发光组成,通过掺Al有助于减少薄膜的缺陷,减弱深能级的缺陷发光,同时紫外带边发射的峰位向高能侧蓝移,与吸收边缘移动的结果相吻合,由紫外发光峰位获得的光禁带与通过透射谱拟合得到的光禁带基本一致。

引用

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