共光路移相单频激光干涉测长系统

被引：7

作者：

韩旭东

艾华

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春　

[3] 吉林长春　

来源：

光学技术 | 2004年 / 02期

关键词：

移相; 光程差放大; 共光路; 精度分析及测试;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.02.021

中图分类号：

O439 [应用光学];

学科分类号：

摘要：

单频激光干涉系统采用偏振光移相方法,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题。共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的基础上,分析了影响系统测长精度的主要因素,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析,完成了系统的精度测试。

引用

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