MEMS射频与微波应用技术新进展

被引：7

作者：

吴群

傅佳辉

机构：

[1] 哈尔滨工业大学电子与通信工程系

[2] 哈尔滨工业大学电子与通信工程系哈尔滨

[3] 哈尔滨

来源：

电子器件 | 2001年 / 04期

关键词：

微机电系统; 微波; 射频; 集成电路; 无线通信;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

微机电系统 (Microelectromechanical system)代表了一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术 ,在射频与微波领域得到广泛应用。无线通信发展的趋势是缩小系统尺寸、降低成本和功耗。本文综述了当前国际上 MEMS技术的最新发展现状 ,对在射频与微波应用的各种 MEMS器件关键技术进行了探讨。最后展望了未来的发展前景

引用

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