硅、锗片的激光损伤及加固研究

被引:5
作者
龚辉
王明利
李成富
程雷
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
关键词
激光损伤,金钢石膜,介质膜,激光预辐照;
D O I
暂无
中图分类号
TN305,TN249 [];
学科分类号
1401 ;
摘要
利用YAG脉冲激光在二种脉宽下(10ns、250μs),对Si、Ge片进行了损伤研究,分别给出了表面损伤机制,并利用镀金钢石膜、介质膜和激光预辐照进行加固,讨论了加固效果。
引用
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