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硅、锗片的激光损伤及加固研究
被引:5
作者
:
论文数:
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h-index:
机构:
龚辉
论文数:
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机构:
王明利
论文数:
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机构:
李成富
论文数:
引用数:
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机构:
程雷
机构
:
[1]
中国科学院上海光学精密机械研究所
来源
:
光学学报
|
1998年
/ 06期
关键词
:
激光损伤,金钢石膜,介质膜,激光预辐照;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN305,TN249 [];
学科分类号
:
1401 ;
摘要
:
利用YAG脉冲激光在二种脉宽下(10ns、250μs),对Si、Ge片进行了损伤研究,分别给出了表面损伤机制,并利用镀金钢石膜、介质膜和激光预辐照进行加固,讨论了加固效果。
引用
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页码:21 / 25
页数:5
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